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激光是怎么产生的?工业激光器的工作原理

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激光是通过受激辐射实现光放大后输出的相干光。工业激光器先把能量送进增益介质,使参与跃迁的上能级粒子多于下能级,再让沿腔轴传播的光反复经过介质。当泵浦使小信号往返增益达到腔内往返损耗时,激光振荡开始建立,部分光从输出端取出。受激辐射具有同模放大的特性,但整束工业激光是否单频、单横模或固定偏振,还取决于器件结构与工作状态。波长、功率和光束质量描述了输出光束的不同方面。

泵浦光进入增益晶体,腔镜反馈放大并从输出镜输出激光的剖面示意
以常见固体激光振荡器为例,展示泵浦、增益和谐振反馈的分工;结构不按比例。 点击图片可查看大图。

1916年,爱因斯坦在解释黑体辐射时提出受激辐射。1958年,Schawlow和Townes提出把微波激射推进到光波频率。1960年5月16日,梅曼用红宝石实现了第一台激光器,并在当年8月6日的《自然》杂志上报告了结果。红宝石激光的波长约为694.3纳米。它证明了产生激光的条件,并不是今天材料加工的主流光源。

激光和普通光的区别是什么?

普通热光源里的自发辐射,是高能级粒子自行跃迁到低能级并发出光子。这些光子的出发时刻、方向和相位彼此无关,叠加之后向较大立体角散开,光谱也往往较宽。把这种光用透镜聚起来,可以提高局部照度,但不会让光子变成同一相位、同一方向。

受激辐射走的是另一条路径。一个能量等于两个能级之差的光子经过处于上能级的粒子时,可以促使该粒子跃迁到下能级,并再放出一个光子。新光子与入射光子的频率、相位、偏振和传播方向一致。经过增益介质后,这类光子变多,所以称为光放大。激光这个名字来自Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation,意思正是受激辐射光放大。

吸收是相反过程。合适的光子被下能级粒子吸收,粒子升到上能级,光子消失。热平衡下上能级粒子更少,吸收通常压过受激辐射,介质整体表现为损耗。只把工作物质照亮或加热,不会自动得到激光。

吸收、自发辐射和受激辐射的能级跃迁及光子方向对比
粒子位置展示跃迁前后;受激辐射产生与入射光同模的光子,图中波形为概念示意。

产生激光必须同时满足哪些条件?

一台能够稳定出光的激光器,通常同时具备增益介质、泵浦和谐振反馈。

增益介质提供一对可以发生辐射跃迁的能级。在许多掺杂固体介质中,寿命较长的上激光能级有利于积累粒子,这类激发态可称为亚稳态。亚稳态是状态名称,不是寿命名称,也不是所有激光器都必须具有的条件。气体分子、晶体或玻璃中的掺杂离子、半导体中的电子和空穴,都可以承担这个角色,但能级的来源不同。

泵浦负责把能量送进介质,使上激光能级的粒子数超过下激光能级。能量可以来自气体放电、电流或另一束光。泵浦光的波长和激光输出波长通常不同。泵浦把粒子抬到更高的能级,激光则产生于另一对能级之间的跃迁。

反馈让光多次经过已经实现反转的介质,并且每次放大能够超过途中损耗。多数工业激光器用光学谐振腔完成这件事。激光阈值是小信号往返增益刚好弥补往返损耗时的泵浦水平。低于阈值,腔内光不能持续增长,主要看到自发辐射形成的荧光,或较弱的放大自发辐射。超过阈值后,光强上升,增益因上能级粒子被消耗而下降,直到饱和增益与损耗重新平衡,输出才稳定下来。

三个条件缺一,结果就不同。只有介质和泵浦、没有有效反馈时,可以得到放大的自发辐射,方向和光谱通常不如振荡起来的激光。只有谐振腔、没有粒子数反转时,镜子只会把弱光来回反射,光不会越来越强。

粒子数反转为什么不能靠加热得到?

热平衡时,能级上的粒子数遵循玻尔兹曼分布:能级越高,粒子越少。RP Photonics百科对粒子数反转的说明指出,这种反转不能在热平衡下出现,净增益要求上激光能级的粒子数高于下激光能级。把增益介质加热,只会让各级按温度重新分配,高能级仍然少于低能级,净效果仍是吸收。

反转是非平衡状态。泵浦必须补充被受激辐射和自发辐射消耗的上能级粒子。四能级系统还能通过快速排空下激光能级降低建立反转的难度;三能级系统的下激光能级是基态,则需要足够强的泵浦改变上下能级的占据。泵浦停止后,反转消失,激光随之停止。激光器的放电电源或泵浦二极管不是附属配件,而是维持反转的能量来源。

介质发光也不等于已经反转。气体放电可以发出很亮的自发辐射,半导体加上电流也可以发光。这些光多数仍向各个方向自发发出。只有指定的一对能级之间出现反转,沿腔轴传播的相应波长才会被净放大。

三能级、四能级和准三能级有什么不同?

能级结构决定泵浦要多费力,也决定介质会不会重新吸收自己发出的激光。

三能级、四能级与准三能级中下激光能级的位置及跃迁路径
粒子点用于说明占据概念,不代表出光时刻的数量分布;下能级的位置和占据影响建立反转的难度。

三能级系统的下激光能级就是基态。在上下能级简并度相同的简单模型里,上能级粒子数必须超过全部工作粒子的一半,才可能比基态更多。红宝石激光器是典型例子:铬离子吸收泵浦光后先到达较高能级,再快速落到亚稳上能级,激光跃迁回到基态。它能够工作,但阈值高,不适合作为高效的工业加工光源。

四能级系统在基态之上另有一个下激光能级。粒子被抽到更高的泵浦能级后,很快落到上激光能级;发出激光后落到下激光能级,再很快回到基态。只要下激光能级排空得快,上能级积累起一些粒子就可以形成反转,不必先抽空整个基态。掺钕钇铝石榴石(Nd:YAG)的1064纳米跃迁通常按四能级理解,因此灯泵或二极管泵浦都能在相对较低的阈值下工作。

准三能级介于两者之间。掺镱光纤和掺镱薄片常用的跃迁,下能级位于基态分裂出的一组子能级中。室温下,这些子能级按热分布已经有一部分粒子。固体介质中,同一组子能级会通过声子很快达到热平衡;判断增益时要看实际参与跃迁的子能级,而不是把整组能带的总粒子数简单颠倒过来。结果是,介质对激光波长本身仍有一定吸收。光纤长度、掺杂、温度和泵浦强度必须使放大超过这种再吸收,否则光纤更长并不自动意味着更能出光。

因此,写着稀土掺杂或晶体,并不能说明它容易产生激光。关键是具体能级结构与粒子占据,以及泵浦能否建立并维持净增益。下能级快速排空有助于四能级系统工作,但不能把它当成三能级系统的必备条件。

光学谐振腔怎样选出方向和频率?

增益介质只保证经过它的合适光子可以变多。自发辐射最初朝各个方向发出,其中绝大多数只经过介质一次就离开。谐振腔把沿腔轴来回走的那一部分留下来。

最简单的直线腔有两面镜子。一面反射率很高,另一面是部分透射的输出镜。光在两镜之间往返,每经过一次介质就被放大。输出镜每次放走一小部分,作为可用的激光,其余继续留在腔内维持振荡。透过率不是越高越好。透过太多,腔内光强建不起来,达不到阈值;透过太少,腔内光虽然强,取出来的功率却不高。透过率要在维持振荡和取出功率之间取得设计平衡。

方向由此被选出来。能在腔内稳定往返的光,传播方向必须落在腔轴附近。激光束通常较窄、发散角较小,原因是其他方向的光没有获得同样多次的放大,不是透镜把普通灯光硬聚成一点。

频率也被选择。只有单程光程大约等于半波长的整数倍,也就是往返光程大约等于波长的整数倍时,光才能在腔内形成稳定驻波。对一个简单直线腔,若腔内光程近似等于几何长度L,相邻纵模的频率间隔约为c/(2L)。按真空光速估算,L为1.5米时间隔约99.9兆赫。光纤激光器的腔往往就是一段掺杂光纤。长度10米、折射率约1.45时,间隔约为c/(2nL),约10.3兆赫。间隔变密,不等于输出光谱自动变窄。真正输出哪几个纵模,还取决于增益带宽、光栅或其他选频元件,以及模式之间的竞争。

横模决定光斑形状。基横模中心亮、边缘平滑,聚焦后更容易得到小光斑。高阶横模的光斑更大、结构更复杂,在同样的透镜和波长下更难聚焦成小光斑。后面的光束质量M²用来描述实际光束离理想基模有多远。

光纤激光器通常不再摆两块分立的介质膜反射镜。光纤激光器的常见结构是把不同光纤熔接成整体腔,用光纤布拉格光栅代替传统反射镜提供反馈,泵浦来自半导体激光二极管或其他光纤激光器。光栅反射的波长由刻写周期决定,因此同时完成把光送回介质和选择波长。

高反镜、增益介质和输出镜组成谐振腔,光沿轴往返并部分输出
两面腔镜提供反馈;输出镜让一部分光留在腔内,一部分作为激光输出。

二氧化碳、光纤、固体和半导体激光器怎样产生增益?

产生激光的条件相同,增益介质和泵浦方式不同。下面比较出光机制,不代表加工效果。这里的固体激光器专指块状或薄片晶体、玻璃结构;光纤激光器本质上也属于固体激光器,这里按常见工业形态单独说明。

气体、光纤、块状固体与半导体激光器的增益介质和泵浦方式对比
图中波段为所示常见实例;光纤激光本质上也属于固体激光,这里按工业形态分组。

二氧化碳激光器是气体分子激光器。1964年,Kumar Patel在贝尔实验室实现了二氧化碳激光,并报告放电可以先激发氮气,再通过碰撞把振动能量转给二氧化碳(《物理评论快报》13卷617页)。工业CO₂激光器里通常还加入氦气,碰撞帮助排空下能级,并参与带走热量。主要输出位于9.6微米和10.6微米附近,工业设备最常见的是10.6微米。电光效率取决于放电方式、气体配比和电源损耗,不能把某次实验的上限写成每台设备的铭牌值。常规石英光纤对10.6微米吸收很强,加工机通常用反射镜导光,不能把传输1微米激光的传能光纤直接换上去。

光纤激光器的增益介质是纤芯里的稀土离子。材料加工中最常见的是镱离子。泵浦二极管发出的光被吸收后,镱离子形成反转,输出落在1微米附近。高功率器件多用双包层光纤:激光在较小的纤芯中传输,功率更大但亮度较低的泵浦光在内包层中传输,外包层再把泵浦光约束住。这样可以用亮度不高的二极管泵浦,得到亮度高得多的激光。光纤细长,表面积相对体积较大,废热沿整段光纤散出,也有利于减轻热变形、维持光束质量。

高平均功率光纤激光器还常常分成种子激光器和光纤放大器。种子激光器决定波长和脉冲,放大器只在反转条件下提高功率。反馈可以主要做在种子端,不必把整段高功率光纤都做成同一个振荡腔。放大器仍然遵守受激辐射和反转的条件,但功率放大级通常不建立独立谐振腔,而是放大种子端送入的信号,这就是主振荡器功率放大器(MOPA)结构的分工。

固体激光器把掺杂离子放在晶体或玻璃里。Nd:YAG的常见激光波长是1064纳米。薄片激光器则把掺镱晶体做成很薄的圆片,泵浦光多次通过薄片,热量主要从背面导走,用来减轻厚晶体中的热透镜。它仍是固体激光器,改变的是散热和泵浦几何。

半导体激光器不能套用原子能级图。正向电流把电子和空穴送入PN结的作用区,导带相对价带形成载流子反转,复合时放出的光子能量由材料带隙决定。晶体解理面可以充当反射镜,也可以用光栅选频。单个发光单元的光斑往往又长又扁,光束质量通常不如单模光纤激光器。工业上它们有两种身份:给光纤、薄片和固体激光器作泵浦源,或者许多单元合束后直接用于焊接、熔覆和热处理。直接半导体激光的波长同样取决于具体半导体材料。

准分子激光器用高压放电产生短寿命的激发态分子,输出在紫外,主要用于半导体制造和微加工,其增益来自短寿命激发态分子的跃迁,输出波段与上述常见实例不同。化学激光器和自由电子激光器也不在常见工业加工机范围内。

波长、功率和光束质量分别说明什么?

波长由跃迁两边的能级差决定。光子能量E=hc/λ,波长越短,单个光子能量越高。波长同时强烈影响材料是否吸收。室温下,许多金属对10.6微米反射较高,木材、亚克力和许多有机材料则吸收较强;1微米附近的激光更容易耦合进多种金属。铜、金、铝等高反射材料即使使用1微米激光,吸收仍然依赖表面状态、温度、厚度以及是否已经形成熔池,不能只凭波长断定一定能够加工。波长也决定光学元件:石英透镜和石英光纤适合1微米附近,10.6微米要使用相应的红外材料和反射光路。

功率要区分平均功率和峰值功率。连续激光器的额定功率是可以持续输出的功率。脉冲激光器还要看脉宽、重复频率和单脉冲能量。平均功率可以不高,峰值功率却足以造成烧蚀或形成标记。调Q和锁模是缩短脉冲的两类方法,前者常得到纳秒量级的高能量脉冲,后者把多个纵模锁定后得到更短的脉冲。只写“多少瓦”而不说明连续还是脉冲,并不能描述这台激光器怎样把能量交给材料。

光束质量描述实际光束离理想高斯光束有多远。理想基模高斯光束的M²等于1。M²越大,在相同波长、相同聚焦镜和相同入射光束直径下,焦点越大。圆对称、接近高斯分布的光束,其1/e²光斑直径可估算为d=4M²λf/(πD)。这里λ是波长,f是聚焦镜焦距,D是到达透镜时的1/e²光束直径。公式忽略像差、光阑截断和非圆光斑,只适合判断数量级。

相同焦距和入射光束直径下,不同波长与M平方对应的教学焦点估算
数值来自正文的教学假设,不是设备实测;光斑图形不按比例,展示聚焦结果的相对差异。

按这一公式取f=150毫米、D=20毫米。波长1.07微米、M²=1.2时,d约为12.3微米;M²改为8时,d约为81.7微米。波长改为10.6微米且M²仍为1.2时,d约为121.5微米。波长更短和M²更接近1都会帮助得到小焦点,但二者不能互相替代。一台M²很大的短波长激光,焦点可以比一台光束质量很好的二氧化碳激光更大。

这些数字是教学假设下的估算,不是某台设备的检测值。实际光斑还受聚焦镜像差、保护窗、光纤芯径以及光束是否填满透镜的影响。产品资料有时给出光束参数积BPP,关系为BPP=M²λ/π。按上面的1.07微米和M²=1.2计算,BPP约为0.41毫米·毫弧度。比较两台激光器时,先确认波长以及M²或BPP使用的是同一套定义。

光束离开激光器之后还要经过什么?

激光器输出的是一束光,还不是加工结果。1微米附近的光纤激光可以直接耦合进传能光纤并送到加工头。10.6微米的二氧化碳激光通常经反射镜到达聚焦镜。加工头中的聚焦镜把光束收到工件表面附近,保护窗挡住飞溅,但自身也会吸收光并产生热变形。辅助气体、喷嘴距离、焦点相对板面的位置和运动轨迹,决定材料怎样被加热、熔化或气化,已经不属于激光如何产生。

光纤激光经传输光纤、聚焦镜、保护窗和喷嘴到达工件的剖面
图示为常见光纤传输系统,保护窗位于加工头内;光在工件附近聚焦,部件细节有所简化。

阅读激光器资料时,可以沿产生过程逐项核对:增益介质和泵浦方式、中心波长、连续或脉冲、额定平均功率、光束质量或光纤芯径、冷却方式。光纤芯径越大,通常越容易传输高功率,但输出更接近多模,焦点往往更大。这是传输条件,不是对切割质量的承诺。

材料加工使用的激光功率高,直射、散射和镜面反射都可能伤害眼睛与皮肤,并引发火灾。设备应有封闭光路、联锁和与波长匹配的防护。具体危险等级以铭牌上的IEC 60825标识和设备安全说明为准,不能用原理说明代替光路调整或防护设计。

参考资料

  • T. H. Maiman,《自然》187卷493–494页,1960年8月6日。第一台红宝石激光器的实验报告。
  • RP Photonics Encyclopedia,“Population Inversion”,Rüdiger Paschotta。粒子数反转、热平衡限制及固体介质子能级的说明。
  • RP Photonics Encyclopedia,Rüdiger Paschotta:“Laser Threshold”“Metastable States”“Ruby Lasers”。分别说明阈值、亚稳态的含义及三能级红宝石激光器。
  • C. K. N. Patel,《物理评论快报》13卷617页(1964);RP Photonics Encyclopedia,Rüdiger Paschotta:“CO₂ Lasers”。用于核对气体激光的历史、波段和能量转移。
  • RP Photonics Encyclopedia,Rüdiger Paschotta:“Fiber Lasers”“Double-clad Fibers”“Master Oscillator Power Amplifier”。用于核对光纤反馈、泵浦与功率放大结构。
  • TRUMPF,薄片激光器原理访谈“I find the disk as amazing as ever”。用于核对薄片多通泵浦和散热方向。

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